半导体厂送风系统工程设计原则

    环境稳定性：确保生产区域内温度、湿度和洁净度恒定，减少环境因素对半导体器件生产的影响。

    系统可靠性：送风系统需具备高可靠性，以降低系统故障对生产的影响。

    节能减排：在保证生产环境的前提下，尽可能降低能耗，减少对环境的影响。

    智能化管理：利用现代自动化控制技术，实现系统的智能化管理。